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Schlüsselworte: bauelemente partikel schichten reinraum scheiben diffusion schaltungen technologie verunreinigungen implantation schicht lack iso photolack schichtabscheidung silicium oxidation kristallzucht maskierung lithographie polysilicium substrat pvd metalle
Aufnahme Datum 2020-05-08

Kurs-Verknüpfung

Prozessintegration und Bauelementearchitekturen

Lehrende(r)

PD Dr. Tobias Erlbacher

Zugang

IdM-Anmeldung / Passwort

Sprache

Deutsch

Einrichtung

Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente

Produzent

Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente

Format

Vorlesung

Typ

universitäre Vorlesung

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