Übung zu Technologie integrierter Schaltungen /KursID:1609
- Letzter Beitrag vom 2021-01-27
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2
Einleitung und Kristallzucht (Aufgaben 1-6)
M. Sc. Michael Niebauer
2020-11-12
Studon
01:10:14
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3
Reinraum und Reinigung (Aufgaben 7-11)
M. Sc. Michael Niebauer
2020-11-20
Studon
00:52:28
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4
Oxidation (Aufgaben 12-19)
M. Sc. Michael Niebauer
2020-11-27
Studon
01:24:52
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5
Diffusion (Aufgaben 20-24)
M. Sc. Michael Niebauer
2020-12-03
Studon
01:10:02
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6
Ionenimplantation (Aufgaben 25-30)
M. Sc. Michael Niebauer
2020-12-11
Studon
01:59:51
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7
Chemische Gasphasenabscheidung (Aufgaben 31-34)
M. Sc. Michael Niebauer
2020-12-15
Studon
00:41:59
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8
Physikalische Schichtabscheidung (Aufgaben 35-37)
M. Sc. Michael Niebauer
2021-01-08
Studon
00:59:54
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9
Lithographie (Aufgaben 38-42)
M. Sc. Michael Niebauer
2021-01-14
Studon
00:59:20
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10
Ätztechnik (Aufgaben 43-47)
M. Sc. Michael Niebauer
2021-01-20
Studon
01:24:31
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11
Planarisierung (Aufgaben 48-50)
M. Sc. Michael Niebauer
2021-01-27
Studon
00:27:01
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M. Sc. Michael Niebauer
Übung
2020-06-12
Studon