In diesem Kurs finden Sie Vorlesungsaufzeichnungen vergangener Vorlesungen vom Stuttgarter IHT. Die Inhalte der Vorlesungen sind bis auf wenige Aspekte identisch zur am LEB angebotenben Vorlesung Halbleitertechnologie - Technologie integrierter Schaltungen (HLT I bzw. TIS). Die Videos werden hier zum Selbststudium angeboten und können sich parallel zu den Vorlesungen angeschaut werden.
Im Rahmen der Vorlesung werden Grundlagen der zur Herstellung von integrierten Schaltungen nötigen Prozesse diskutiert. Dazu gehören verschiedene Verfahren zur Schichtabscheidung, zur Strukturierung, der Waferherstellung und des Ätzens.
